光学镀膜领域在什么情形下用到超纯水设备?
高洁净度镀膜环境的配套环节在洁净度要求极高的镀膜车间(如 Class 10/Class 1 级洁净室),超纯水还会用于洁净室的湿洗清洁,比如清洗镀膜设备的腔体、
高洁净度镀膜环境的配套环节
在洁净度要求极高的镀膜车间(如 Class 10/Class 1 级洁净室),超纯水还会用于洁净室的湿洗清洁,比如清洗镀膜设备的腔体、传输导轨、夹具等部件。这些部件直接与基片或膜层接触,若表面残留杂质,会间接污染产品,因此必须用超纯水进行清洁,维持整个镀膜环境的洁净标准。

