光学镀膜领域在什么情形下用到超纯水设备?
高精度光学元件的后处理环节对于望远镜镜片、光刻机光学组件、激光镜片等高精度光学元件,镀膜完成后还需进行边缘抛光、缺陷修复等后处理,处理过程中会产生微小的碎屑或残
高精度光学元件的后处理环节
对于望远镜镜片、光刻机光学组件、激光镜片等高精度光学元件,镀膜完成后还需进行边缘抛光、缺陷修复等后处理,处理过程中会产生微小的碎屑或残留的抛光液。此时需要用超纯水进行无残留冲洗,防止普通水中的钙镁离子、有机物在元件表面形成水垢或污渍,破坏光学元件的透光性能和成像质量。


